流量計
【流量計。流量控制器】
流量範圍：3 Sccm~ 30 Slpm操作壓力正常範圍：5~50 psi
控制範圍：50~1
準確選擇（類比）：+/- 1.0% of F.S
線性：In Accuracy
重複性：+/- 0.25% of F.S
反應時間：Flow Signal: < 0.3 Sec.
溫度系數：+/- 0.1 F.S / ℃(N2)
正常的工作溫度範圍：5℃ to 65℃
輸入電壓：+/- 15 VDC 350mA
類比輸入/輸出信號：0~5VDC
連接器類型：15 pin D-Sub.
本體材料和封條類型：SS 316L & Viton, Buna-N, Kalrez
漏率標準：1 x 10 -9 ATM c.c / Sec. He
管路接頭型式：1/8"SWG, 1/4"SWG, 1/4"VCR, 1/4"VCO, 3/8"SWG.
【浮球流量計】
