首頁 ﹥ 真空設備 > 濺鍍機系統 觀看大圖 共濺鍍系統CO-SPUTTER SYSTEM(實驗型) 客製化 觀看大圖 濺鍍系統(實驗型) 客製化 觀看大圖 共濺鍍系統CO-SPUTTER SYSTEM(實驗型) 客製化 觀看大圖 桌上型濺鍍系統-SPUTTER SYSTEM(實驗型) 客製化 觀看大圖 共濺鍍系統CO-SPUTTER SYSTEM(實驗型) 規 格 1. 腔體尺寸:500mm X 500mm X 400mm2. 載台旋轉機構3. 6吋視窗4. 2吋磁控腔5. RF-300W,DC-1000W6. 渦輪高真空幫浦7. 按鍵氣動互鎖保護8. PC-510流量控制器9. 流量計AR:100SCCM10.水壓空壓保護裝置11.載台加溫機構12.手動控壓閥13.濺鍍方向(由下往上濺鍍) 觀看大圖 濺鍍系統-SPUTTER SYSTEM(實驗型) 客製化 觀看大圖 共濺鍍系統CO-SPUTTER SYSTEM(實驗型) 客製化