首頁 ﹥ 真空設備 > 原子層系統

規           格
1. 溫度控制: 單段電腦程式控制器，可作升降溫斜率曲線控制
2. 溫度上限: 可加溫到1000度C
3. 加熱區: 400mm
4. 爐內材質: 進口耐高溫纖維板
5. 開啟式: 前掀式
6. 保溫裝置: 隔熱採雙層空氣隔熱，陶瓷纖維板再加上陶瓷多重隔絕
7. 3吋石英管
8. 2吋載台
9. 流量計+流量控制器 AR: 10SLM
10. 機械式計時器+PLC控制
11.機械幫浦