P E C V D SYSTEM
舊 機 修 改
1.機架更新整合為一体
2.修改為左開式門
3.腔体電解處理
4.真空氦氣測漏
5.功能測試
6.舊管線更換
修 改 目 地
部分實驗室因考量空間需求,
故而我司提供機構改善服務,
讓室內更簡潔,機台更實用!
硒 化 爐 SYSTEM
規 格
1. Chamber Size:∮165mmXH250MM
1. Chamber Size:∮165mmXH250MM
2.220V轉10V-200A精密型控制
3.4吋蒸鍍載台可調整高低度
4.數位式真空顯式
5.低真空機械幫浦
6.進氣閥門
PLED SYSTEM
規 格 :
1.腔体尺寸:460mm×460mm×520mm
2.6吋視窗
3 3對10電子式切換
4.10V200A電源模組×3
5.3組膜厚計單獨量測
6.所有蒸鍍源獨立擋板
7.手動切換MASK機構
8.載台旋轉機構
9.中間隔板防止交叉汙染
10.高真空擴散幫浦
