流量計
| 流量計 流量控制器 |
  流量範圍：3 Sccm~ 30 Slpm 最大的入口壓力：150 psi (Max. 1500 psi) 操作壓力正常範圍：5~50 psi 控制範圍：50~1 準確選擇（類比）：+/- 1.0% of F.S 線性：In Accuracy 重複性：+/- 0.25% of F.S 反應時間：Flow Signal: < 0.3 Sec. 溫度系數：+/- 0.1 F.S / ℃(N2) 正常的工作溫度範圍：5℃ to 65℃ 輸入電壓：+/- 15 VDC 350mA 類比輸入/輸出信號：0~5VDC 連接器類型：15 pin D-Sub. 本體材料和封條類型：SS 316L & Viton, Buna-N, Kalrez 漏率標準：1 x 10 -9 ATM c.c / Sec. He 管路接頭型式：1/8"SWG, 1/4"SWG, 1/4"VCR, 1/4"VCO, 3/8"SWG. |
| 流量計 |   |
| 浮球流量計 |   |
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