多層膜共濺鍍系統
規 格
1. 腔體尺寸:500mm X 500mm X 400mm
2. 載台旋轉機構
3. 6吋視窗
4. 2吋磁控腔
5. RF-300W，DC-1000W
6. 渦輪高真空幫浦
7. 按鍵氣動互鎖保護
8. PC-510流量控制器
9. 流量計AR:100SCCM
10.水壓空壓保護裝置
11.載台加溫機構
12.手動控壓閥
13.濺鍍方向(由下往上濺鍍)
1. 腔體尺寸:500mm X 500mm X 400mm
2. 載台旋轉機構
3. 6吋視窗
4. 2吋磁控腔
5. RF-300W，DC-1000W
6. 渦輪高真空幫浦
7. 按鍵氣動互鎖保護
8. PC-510流量控制器
9. 流量計AR:100SCCM
10.水壓空壓保護裝置
11.載台加溫機構
12.手動控壓閥
13.濺鍍方向(由下往上濺鍍)
規 格
1. 腔體尺寸:500mm X 500mm X 400mm
2. 載台旋轉機構
3. 6吋視窗
4. 2吋磁控腔
5. RF-300W，DC-1000W
6. 渦輪高真空幫浦
7. 人機控制畫面
8. PC-540流量控制器
9. 流量計AR:100SCCM，O2:30SCCM，N2:100SCCM
10.水壓空壓保護裝置
11.載台加溫機構
12.手動控壓閥
13.濺鍍方向(由上往下濺鍍)
規 格
1.Chamber Size : 500mm×500mm×450mm
2.6英寸視窗
3.2吋高溫旋轉載台
4.2吋偏角度磁控槍
5.Sub電漿清潔裝制
6.Sub旋轉偏壓功能
7.RF-GUN加DC-GUN
8.高真空渦輪幫浦
9.按鍵式氣動閥互鎖保護
10.RF-600W DC-500W
11.水壓,空壓保護裝制
12.GUN預鍍獨立擋板
13.獨立進氣GAS R-ING
14.MFC-AR-O2-N2
CO-SPUTTER SYSTEM 多層膜共濺鍍系統
規 格
1.腔體尺寸：500mm×500mm×450mm。
2.自動送取料傳輸系統。
3.6吋視窗。
4.2吋偏角磁控腔。
5.RF-600W,DC-500W。
6.載台升降機構。
7.自動壓力控制(可切換角度及壓力)。
8.高真空冷凍抽氣幫浦。
9.三色動作指示燈。
10.MFC-AR-O2。
11.水壓空壓保護裝置。
12.實體顯示控制畫面。
CO-SPUTTER SYSTEN 
