ALD 原子層沉積系統(實驗型)
電洽
規 格1. 溫度控制: 單段電腦程式控制器,可作升降溫斜率曲線控制2. 溫度上限: 可加溫到1000度C3. 加熱區: 400mm4. 爐內材質: 進口耐高溫纖維板5. 開啟式: 前掀式6. 保溫裝置: 隔熱採雙層空氣隔熱,陶瓷纖維板再加上陶瓷多重隔絕7. 3吋石英管8. 2吋載台9. 流量計+流量控制器 AR: 10SLM10. 機械式計時器+PLC控制11.機械幫浦