世欣科技股份有限公司 真空腔體/濺鍍機/蒸鍍機/流量計/真空幫
產品
共濺鍍系統CO-SPUTTER SYSTEM(實驗型)
電洽
規 格
1. 腔體尺寸:500mm X 500mm X 400mm
2. 載台旋轉機構
3. 6吋視窗
4. 2吋磁控腔
5. RF-300W，DC-1000W
6. 渦輪高真空幫浦
7. 按鍵氣動互鎖保護
8. PC-510流量控制器
9. 流量計AR:100SCCM
10.水壓空壓保護裝置
11.載台加溫機構
12.手動控壓閥
13.濺鍍方向(由下往上濺鍍)
2. 載台旋轉機構
3. 6吋視窗
4. 2吋磁控腔
5. RF-300W，DC-1000W
6. 渦輪高真空幫浦
7. 按鍵氣動互鎖保護
8. PC-510流量控制器
9. 流量計AR:100SCCM
10.水壓空壓保護裝置
11.載台加溫機構
12.手動控壓閥
13.濺鍍方向(由下往上濺鍍)