世欣科技股份有限公司 真空腔體/濺鍍機/蒸鍍機/流量計/真空幫
產品
PLED SYSTEM
電洽
規 格 :
1.腔体尺寸:460mm×460mm×520mm
2.6吋視窗
3 3對10電子式切換
4.10V200A電源模組×3
5.3組膜厚計單獨量測
6.所有蒸鍍源獨立擋板
7.手動切換MASK機構
8.載台旋轉機構
9.中間隔板防止交叉汙染
10.高真空擴散幫浦